烧结

Sintering

采用粉末冶金工艺的溅射靶材在成型后需要通过高温烧结致密和改善内部微观结构,以保证成膜质量。基于40年粉末冶金技术的积累,基迈克掌握多种烧结技术来获得高密度、低杂质含量和优异微观结构的溅射靶材,我们根据不同材料的本身属性采取相应的烧结工艺,确保工艺和材料属性的最佳匹配。

AZO - inline.jpg

 热压烧结

 真空烧结

 气氛烧结

 放电等离子烧结 

 
(AZO靶材)

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