烧结
Sintering
通常靶材在成型后需要通过高温烧结获得更高密度的靶材，以保证成膜质量。基于40年的粉末冶金技术积累经验，基迈克掌握多种烧结技术来获得高密度、低杂质含量和优异微观结构的溅射靶材。材料的本身属性决定了需要采用相应的烧结方式和烧结工艺，以获得高质量的溅射靶材，我们所采取的主要烧结方式有：
• 真空烧结
• 气氛烧结
• 热压烧结
• 放电等离子烧结
(ITO旋转靶材)
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