清洗
Cleaning
溅射靶材使用的环境对洁净度要求非常高，任何材料表面的沾污和灰尘将导致设备报警或发生成品品质缺陷。基迈克采用世界领先的全自动清洗设备、严格的清晰程序和优化的清洗工艺，确保在彻底清除靶材在生产加工过程中附带的各种外来沾污，满足客户使用环境严格洁净度要求。
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