检测
Inspection
靶材组分是否精确，密度是否满足要求，微观结构是否符合工艺设计，这些关键指标除了通过严格的工艺控制来保障之外，还需要按照质量控制体系对各项关键质量点(CTQ)进行检测，确保各项指标满足控制标准。
基迈克配备完善的分析和检测设施，可以迅速对产品的化学和物理指针迅速做检测，为质量控制提供分析检测支持：
• 杂质含量 （ICP光谱分析仪、GDMS辉光质谱放电仪）
• 元素分布 （XRF-荧光光谱仪）
• 粒度分布（Coulter粒度仪）
• 微观结构 （SEM-扫描电镜）
• 密闭检漏 （氦气检漏仪）
• 靶材贴合 （超声无损探伤）
• 物理尺寸 (CMM)
创新科技引领未来
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